§8-2 光学频谱分析系统和空间滤波 1,阿贝(abbe)成像理论(1873)

扫描电镜的扫描成像方式二次电子像sei入射电子束和试样相互作用激

产生的二次谐波光信号可以无损检测和成像半导体晶圆表面上下的特征

阴影成像

望远镜的光路图 物镜 目镜 第一次:倒立,缩小,实像 第二次:"正立"