压电mems技术越来越多地应用于射频滤波器,mems时钟,mems陀螺仪,喷墨
传感器 /a>" alt="MEMS滤波器">
是非常低功耗,小型容性mems的 a data-lemmaid="26757">传感器 /a>
电信学院青年学者论坛│翟雷应光学mems器件及系统研究
压电mems技术越来越多地应用于射频滤波器,mems时钟,mems陀螺仪,喷墨
是非常低功耗,小型容性mems的 a data-lemmaid="26757">传感器 /a>
电信学院青年学者论坛│翟雷应光学mems器件及系统研究