综述:mems制造工艺研究进展

mems气体传感器-mems制作工艺有哪些?-苏州能斯达电子

静电驱动 mems 扫描镜采用单晶硅制造,工艺简单,成熟,成本低

mems麦克风使用严格控制的微蚀刻工艺制造,故每个mems麦克风的个体

拓展摩尔定律推动memsnems技术演进