mems技术加工工艺与ic工艺区别

mems封装技术ppt

12英寸晶圆"在mems制造中,工艺尺寸缩小与流程复用很多时候并不适用

正文 为了实现高品质因数,mems谐振器将通过封盖和密封工艺(采用熔接

图 3 mems敏感芯片工艺流程示意图