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斐索干涉仪

时间:2023-09-21 03:50:45作者:大毛

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大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计

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用于测量裸晶圆表面形貌的基本设计类似于图3所示的斐索干涉仪.

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一,典型干涉系统 1,斐索 ( fizeau ) 干涉仪:等厚干涉型的干涉仪 l3 g

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