时间:2023-10-25 12:44:32作者:大毛
氮化硅片衬底si3n4单晶衬底
逻辑芯片里用到的都是单晶硅衬底,当然先进制程里用到的衬底要求也会
电致发光的完全悬空超薄硅衬底氮化镓基蓝光led器件的制备与表征[j].
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