光电器件 rf mems > 正文两款开关均符合美国军标mil-std-883要求.

随着微加工技术的成熟而逐渐发展起来的,相比于集成电路制造,mems器件

制造mems器件需要采用与制造其他半导体电路相同的许多技术:氧化,扩散

mems元器件是如何进行封装的

《3轴mems陀螺仪:st l3g4200d》 - mems器件拆解和成本分析 - yole