时间:2022-12-08 21:44:40作者:大毛
氮化硅结构与性能_第1页
氮化硅(si3n4)是一种新型陶瓷材料,它可由石英与焦炭在高温的氮气流中
氮化硅薄膜的沉积速率和表面形貌
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