时间:2023-10-05 17:22:57作者:大毛
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3. 过光油,哑油 光胶,哑胶,凹凸,烫金等工艺
在之后的蚀刻或离子注入工艺中,会对没有光刻胶保护的硅片进行刻蚀
光刻工艺原理8
除了材料本身之外,光刻胶还与ic制造工艺紧密结合,因此厂商要想研发光
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