无忧文档 所有分类 自然科学 物理 硅的直拉法单晶生长ppt 了解单晶硅

cn106319634a_一种原子级平整单晶硅(100)表面的制备方法有效

半导体百科 | 单晶硅的生长

直拉单晶硅 目前,单晶硅的直拉法生长已是单晶硅制备的主要技 术,也是

单晶硅的特点与优劣势单晶硅与多晶硅晶体生长工艺不同,其晶面取向