公开资料显示,上海微电子装备公司(smee)成立于2002年,主要致力于大

上海制造——上海微电子装备(集团)股份有限公司

上海微电子装备有限公司为泛半导体产业提供高端国产光刻机

新一代先进封装光刻机,图源:上海微电子装备集团官方公众号据介绍

上海微电子装备的光刻机能达到什么水平