各向同性刻蚀

图1. 各向同性刻蚀轮廓包络抛光原理图

各向同性刻蚀与非各向同性刻蚀

各向异性和各向同性湿法蚀刻之间的区别.jpg

各向异性金刚石刻蚀的研究报告

有两种基本的刻蚀剖面:各向同性和各向异性刻蚀剖面.

各向同性蚀刻和其对太阳能电池电特性的效应 - 工艺数据中心 - 刻蚀

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各向同性蚀刻在每个方向上均匀地处理蚀刻材料,而各向异性蚀刻最好只