
3,mems

各向同性刻蚀

有两种基本的刻蚀剖面:各向同性和各向异性刻蚀剖面.

各向异性和各向同性湿法蚀刻之间的区别.jpg
图片内容是:各向同性刻蚀

图1. 各向同性刻蚀轮廓包络抛光原理图

各向同性刻蚀与非各向同性刻蚀

各向同性蚀刻在每个方向上均匀地处理蚀刻材料,而各向异性蚀刻最好只

刻蚀剖面:刻蚀后图形的侧壁形状 各向同性 各向异性 各向异性对

37.刻蚀的五个术语
3,mems
各向同性刻蚀
有两种基本的刻蚀剖面:各向同性和各向异性刻蚀剖面.
各向异性和各向同性湿法蚀刻之间的区别.jpg
图1. 各向同性刻蚀轮廓包络抛光原理图
各向同性刻蚀与非各向同性刻蚀
各向同性蚀刻在每个方向上均匀地处理蚀刻材料,而各向异性蚀刻最好只
刻蚀剖面:刻蚀后图形的侧壁形状 各向同性 各向异性 各向异性对
37.刻蚀的五个术语