时间:2022-12-12 12:21:53作者:大毛
包括一个单晶硅基底,一个中心固定支撑柱,一个微型半球谐振子,一个
cn107389050a_内外电极间隙精确控制的微半球谐振陀螺仪及其加工方法
谐振式光学陀螺
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