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冰冻蚀刻技术

时间:2023-10-23 20:17:46作者:大毛

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从历史上看,直到vlsi和ulsi技术问世之前,湿式化学方法在蚀刻图案定义

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利用该粒子进行蚀刻的技术称为反应离子蚀刻

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