光刻工艺流程

图 1. 光刻工艺过程的示意图

一般光刻工艺过程

2 光刻工艺基本流程 曝光,显影,刻蚀(或淀积)是光刻过程中的三个主要

光刻原理示意图

mems制造工艺

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