euv极紫外光刻是一项什么样的技术

等到7nm及更先进的技术节点时,则需要波长更短的极紫外(euv)光刻技术

极紫外光刻euvl芯片制造技术

此外,三星称,7nm的进度也已经更新并展示了采用euv极紫外光刻技术的

韩国政府将致力于极紫外光刻工艺中关键材料的研发