射频磁控溅射法沉积sic-al薄膜的摩擦特性

磁控溅射镀膜系统

供应atc系列磁控溅射系统

2 磁控溅射sio2装置图

可以分为直流二极溅射,直流三极溅射,直流四极溅射,磁控溅射,对向靶