图11.离子束溅射从靶上释放出高能粒子,从而获得了最高密度的涂层.
图 5: 在离子束溅射 (ibs) 过程中,强电场使离子束上的离子加速到目标
离子束溅射原理示意图
离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜
图片内容是:离子束溅射
离子束溅射氧化铪薄膜的能带特性研究
图8 离子束溅射镀制lbo薄膜示意图结束语从20世纪80年代发明起到现在
多功能超高真空磁控,离子束溅射设备
cn106835017b_基于氮离子源的离子束反应溅射沉积设备及氮化铝薄膜
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