离子束刻蚀示意图 2

离子束刻蚀速率影响因素 a.被刻蚀材料种类 b.离子能量 c .

对战百亿巨头拉姆研究半导体刻蚀赛场中微公司赶超的底气何在

图 9 离子束刻蚀产生侧壁再沉积层示意图 (a)刻蚀产生

离子束刻蚀/沉积系统

等离子清洗机刻蚀原理

将掩膜版上的图形 转移到硅片表面的 光敏薄膜上 刻蚀 离子注入 (掺杂

第五节_离子束加工.ppt

第六章 电子束和离子束加工ppt