离子束刻蚀ppt课件
物理 光子晶体ppt 逐层叠加法: 结合电子束刻蚀技术,反应离子束刻蚀技
cn104555910a_一种基于反应离子束刻蚀技术制备薄膜有序微结构的方法
rie (reactive ion etching)反应离子刻蚀
2 离子束加工 1,加工原理 图6-9 考夫曼型离子源 1—真空抽气口 2
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物理 光子晶体ppt 逐层叠加法: 结合电子束刻蚀技术,反应离子束刻蚀技
cn104555910a_一种基于反应离子束刻蚀技术制备薄膜有序微结构的方法
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2 离子束加工 1,加工原理 图6-9 考夫曼型离子源 1—真空抽气口 2