光刻机,被称为现代光学工业之花,其制造难度之大,堪称人类智慧集大成

投影式曝光(projection printing):在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统

光刻机之战

[转帖]从光刻机的发展,看懂asml为何是不可取替

要知道可适用于euv光刻机的镜头方向并不止一个,但不管是运用大数值