光刻机技术突破90纳米,可以批量生产14纳米
国产技术重要突破,被垄断的光刻机核心部件,中国实现量产
中兴 光刻机【相关词_ 半导体光刻机】
中国14纳米光刻机突破中国芯片制造最新消息
据中国新闻媒体报道,上海微电子预计在2021年交付第一台28纳米光刻机
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