光刻机最先进的是多少纳米中国微电子28nm光刻机
飞跃式突破第一台28nm国产光刻机即将交付
上海微电子将在2021年交付的28nm光刻机正是源于以下核心企业以举国之
其负责的193nm arf准分子激光的干式和浸没式duv光刻机(用于28nm芯片
纯国产28nm深紫外duv光刻机要来了
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