碳化硅晶锭及其制造方法和用于制造碳化硅晶锭的系统与流程

上海硅酸盐所碳化硅晶锭制备与晶圆片加工研究和技术研发跃上新台阶

硅酸盐所研发出4英寸碳化硅单晶

切割工艺对比 碳化硅晶体

环球晶圆推出150mm新产品碳化硅半导体再下一城

黑碳化硅,绿碳化硅

本发明属于碳化硅晶体制备技术领域,尤其涉及一种快速生长高质量

上海硅酸盐所低缺陷密度直径100mm碳化硅晶体实现批量生产

加工实例高纯碳化硅晶体切割片