聚焦离子束(fib)概述

聚焦离子束(fib)双束系统

华慧高芯知识库|浅谈氦离子显微镜与蔡司多离子束显微镜

图 5: 在离子束溅射 (ibs) 过程中,强电场使离子束上的离子加速到目标

物理所基于聚焦离子束技术构建三维纳米结构研究获进展