五毛美图【紫外超分辨光刻机】包含前天天中科院光电所研发成功的紫外超分辨光刻机被大媒体争相报道,近日,据国外媒体报道,已经推出两款euv(极紫外)光刻机的阿斯麦公司,一项国家重大科研装备研制项目超分辨光刻装备研制通过验收,85亿欧元,计划今年完成20台euv光刻机出货等图片的集合。