单面紫外光刻机

光刻机之战看懂为什么我们还造不出最先进的光刻机

前天天中科院光电所研发成功的紫外超分辨光刻机被大媒体争相报道

紫外光刻

近日,据国外媒体报道,已经推出两款euv(极紫外)光刻机的阿斯麦公司

一项国家重大科研装备研制项目"超分辨光刻装备研制"通过验收

85亿欧元,计划今年完成20台euv光刻机出货

紫外光刻机

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