asml表态euv光刻机的发展被卡住了

5亿美元 asml制造新一代euv光刻机

asml公布最新一代euv光刻机3600d生产效率增加18

8纳米asml euv极紫外光刻机为例,也是从193纳米多次反射得到的,简单来

也能加工5纳米!买不到euv,可以考虑尼康新一代arf浸入式光刻机