700台光刻机在路上,asml转变态度,中国半导体可以松口气了吗?

asml官宣,中国或能拿到euv光刻机,中科院表明态度:坚持自研!

国产芯的一大举措,首台28nm光刻机即将交付

越过技术壁垒了?中科院正式宣布,网友:不需euv,直击5nm

中科院5nm激光光刻弯道超车?95后本科生diy纳米级光刻机?