因应先进行动平台设计,并计划在5奈米制程广泛使用极紫外光(euv)微影

激光在生物科学中的应用novel极紫外线320nm激光源增强流式细胞术

日冕极紫外和可见光的图像 图源:(见图中水印)

使用阿斯麦的"大杀器",将紫外(或极紫外)光通过蔡司的镜片,照在前面

三星电子首次尝鲜纯euv极紫外光刻生产线