镓敏光电国际首发宽禁带半导体euv极紫外探测器

三星电子首次尝鲜"纯euv极紫外光刻"生产线

紫外线与紫外光源

极紫外线帮助我们制造更智能的手机和更坚固的卫星

asml极紫外光刻机内部构造

4nm 的紫外线,它的光路极易受到外界干扰.

大部分紫外光谱,包括所有极紫外线(10-100

光谱大致分为红外线,可见光和紫外线,x射线,伽马射线等.

曝光方式:紫外线,x射线,电子束,极紫外光关键技术参数:最小可分辨图形