时间:2022-10-09 10:02:54作者:大毛
(三)化学气相沉积(cvd)
pecvd(等离子体增强化学气相沉积法)
流化床化学气相沉积研究课题组
载能离化原子团束辅助化学气相沉积制备dlc薄膜的方法及其系统技术
薄膜化学气相沉积6.ppt
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