03.物理气相沉积

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三种常见的薄膜材料物理气相沉积方法(pvd)

磁控溅射是物理气相沉积(physical vapor deposition,pvd)的一种.

物理气相沉积

chap5 物理气相沉积

2 薄膜的物理气相沉积Ⅰ——热蒸发

物理气相沉积制备金属玻璃薄膜及其力学性能的样品尺寸效应

薄膜的物理气相沉积Ⅱ溅射法及其他p1资料