微波等离子体化学气相沉积装置

cn104911565b_一种化学气相沉积装置有效

两种化学气相沉积系统示意图.

一种等离子体化学气相沉积装置制造方法及图纸

二,化学气相沉积的基本装置 高温和低温cvd装置

等离子体化学气相沉积装置以及成膜方法制造方法及图纸

cn101426953b_用于化学气相沉积的装置和方法失效

用于化学气相沉积的装置和方法

8-2化学气相沉积ppt