五毛美图【化学气相沉积装置】包含两种化学气相沉积系统示意图.,二,化学气相沉积的基本装置 高温和低温cvd装置,等离子体化学气相沉积装置以及成膜方法制造方法及图纸,cn101426953b_用于化学气相沉积的装置和方法失效等图片的集合。