如今,泛林集团,这家华人创办的半导体设备企业,在全球刻蚀机市场占据

等离子刻蚀机-北京圣德威

光刻机很难,但继等离子刻蚀机之后,离子注入机也实现了突破!

icprie感应耦合等离子刻蚀si500

(a)电感耦合等离子体刻蚀设备示意图;(b)实拍图;(c)亚表面损伤检测