中国排名第一的芯片设备公司: 老板60岁回国, 刻蚀机做到全球领先

等离子刻蚀机的等离子刻蚀的测量与控制

65nm到5nm:国产自主刻蚀机突破垄断,强势崛起

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预算700万,李政道研究所采购两台刻蚀机

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中微公司的刻蚀机

国产高端芯片正在崛起——5nm刻蚀机通过验证 楚河汉街金(下)

canon佳能 surpass 300 12寸晶圆刻蚀机