下图显示了各向同性蚀刻和各向异性蚀刻在方向上的差别此外,在先进

当带有与 110>方向相准直的掩膜的(100 )面硅片放到 各向异性刻蚀剂中

刻蚀剖面:刻蚀后图形的侧壁形状 各向同性 各向异性 各向异性对

基于石墨烯的各向异性刻蚀技术

碲镉汞p型接触孔低损伤干法刻蚀技术研究

钒的氧化物各向异性刻蚀的方法与流程

铌酸锂和钽酸锂的等离子刻蚀

有两种基本的刻蚀剖面:各向同性和各向异性刻蚀剖面.

为增强碱液刻蚀的各向异性特征,制绒工艺刻蚀速度必须要低,如2μm/min