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各向异性刻蚀

时间:2022-12-21 06:08:54作者:大毛

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使用湿法各向异性蚀刻,可以从{ 110 }硅晶片表面的一侧暴露出六个{111

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基于石墨烯的各向异性刻蚀技术

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