最近,瑞典皇家工程学院的schmidt等,利用电子束曝光与普通的湿法刻蚀

集成电路工艺 光刻与刻蚀工艺.ppt

图2展示了利用飞秒激光直写结合聚焦离子束刻蚀技术制备的几个集成