电子束光刻

微光刻与电子束光刻技术(北京大学暑期班讲义版)ppt

离子束刻蚀机

多功能超高分辨电子束刻蚀系统

磁电子器件的性能与材料的物理性质密切相关.

离子束刻蚀

微电子工艺之刻蚀技术.ppt

图4 利用电子束曝光与各向异性刻蚀方法相结合制备具有特定取向的sub

cn1290960a_电子束写入方法,电子束刻蚀设备及其所用掩模失效