icp刻蚀

icp高密度等离子体刻蚀系统

硅的干法深刻蚀,并可以扩充刻蚀Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体.

牛津icp刻蚀机(两台,一台刻蚀氮化物,一台刻蚀硅基) 时间分辨光致荧光

(带load_lock装置)全自动型感应耦合等离子体刻蚀机icp-8000