时间:2023-06-27 06:43:14作者:大毛
chap8光刻与刻蚀工艺
蚀刻工艺介绍 一,光刻制程 芯片片表面清洗 hmds涂底 显影 涂光刻胶
通常的晶圆加工流程中,刻蚀工艺位于光刻工艺之后,有图形的光刻胶层在
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